简答题 比较硅单晶锭CZ、MCZ和FZ三种生长方法的优缺点？

【参考答案】

CZ法工艺成熟可拉制大直径硅锭，但受坩锅熔融带来的O等杂质浓度高，存在一定杂质分布，因此，相对于MCZ和FZ法，生长的硅......

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