论述题 什么是溅射产额，其影响因素有哪些？简述这些因素对溅射产额产生的影响。

【参考答案】

溅射产额：影响因素：离子质量、离子能量、靶原子质量、靶的结晶性只有当入射离子的能量超过一定能量（溅射阈值）时，才能发生溅......

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