论述题 物理气相淀积最基本的两种方法是什么？简述这两种方法制备薄膜的过程。

【参考答案】

物理气相淀积：蒸发Evaporation、溅射Sputtering热蒸发法：在真空条件下，加热蒸发源，使原子或分子从蒸发......

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