论述题 简述RTP在集成电路制造中的常见应用。

【参考答案】

1）杂质的快速热激活RTP工艺最具吸引力的的热点之一是晶圆片不用达到热平衡状态，意味着电活性的有效掺杂实际上可以超过固溶......

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