论述题 简述RTP设备的工作原理，相对于传统高温炉管它有什么优势？

【参考答案】

RTP工艺是一类单片热处理工艺，其目的是通过缩短热处理时间和温度或只缩短热处理时间来获得最小的工艺热预算（Thermal......

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