论述题 常用溅射技术有哪几种，简述它们的工作原理和特点。

【参考答案】

直流溅射——惰性气体，如氩，送入低压下的溅射腔体，电压加在电极上产生等离子体。加负直流电压的的是......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)