简答题 简述IC芯片工艺过程中包括的刻蚀工艺过程

【参考答案】

（1）图形化和整面全*区刻蚀。
（2）单晶硅刻蚀用于浅槽隔离。
（3）多晶硅刻蚀用于界定栅和局部互连......

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