论述题 根据曝光方式的不同，光学光刻机可以分成几类？各有什么优缺点？

【参考答案】

根据曝光方式不同光学光刻机主要分为三种：接触式，接近式，投影式。接触式：接触式光刻机是最简单的光刻机，曝光时，掩模压在涂......

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