论述题 在光刻中，能够在增加分辨率的同时增加聚焦深度吗？为什么？

【参考答案】

不能！聚焦深度：在保持图形聚焦的前提下，沿着光路方向晶圆片移动的距离是聚焦深度——
，......

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