干法刻蚀适用于（） （粗/细）线条。

扩散只用于浅结的制备 点击查看答案

在LPCVD中，由于hG>>kS，即质量转移系数远大于表面反应速率常数，所以，LPCVD系统中，淀积过程主要是质量转移控制 点击查看答案