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化学机械平坦化的工作机理是什么？与传统平坦化方法相比，它有哪些优点？ 点击查看答案

Si3N4材料在半导体工艺中能否用作层间介质，为什么？请举两例说明Si3N4在集成电路工艺中的应用。 点击查看答案