问答题

论述题 在铜互连中，为什么要用铜扩散阻挡层？阻挡层分成哪几种，分别起什么作用？

【参考答案】

1）铜在SiO2中极易扩散，造成对硅器件的沾污：增加SiO2的漏电流；增加结......

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