简答题 微电子器件对接触和互连有什么要求？获得良好欧姆接触的方法有哪几种？

【参考答案】

对接触和互连有的基本要求有：
1）能形成良好的欧姆接触；
2）互连材料具有低的电阻率和良好的稳定性；......

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