简答题 比较投影掩模版和光学掩模版有何异同？说明采用什么技术形成投影掩模版上的图形？

【参考答案】

投影掩膜版：图形可能仅包含一个管芯，也可能是几个。容易形成亚微米图形；小曝光场，需要步进重复；光学缩小，允许较大的尺寸。......

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