简答题 简述反射切口、驻波的概念、抗反射涂层的作用

【参考答案】

反射切口：在刻蚀形成的垂直侧墙表面，反射光入射到不需要曝光的光刻胶中就会形成反射切口
驻波：入射光与反射光发射......

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