问答题

简答题 在VLSI中，为什么要采用Cu互连及多层金属化技术？

【参考答案】

因为Cu的互连线电阻率低，介质层介电常数小。
多层互连对VLSI的意义：1提高集成度；2降低互连延迟3降低成本

<上一题 目录 下一题>
热门 试题

问答题
什么是分辨率？如何提高分辨率？
问答题
简要说明正胶和负胶的关光刻原理与特性。
相关试题