单项选择题

直拉法制备硅单晶的工艺步骤顺序是（）。
A.引晶（下种）
B.放肩
C.收尾
D.收颈
E.等径生长

A.ADBEC
B.ABCDE
C.ACBDE
D.ABDEC

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多项选择题

硅片制备最先进的抛光工艺是（）。

A.化学抛光
B.机械抛光
C.化学机械抛光
D.CMP

多项选择题

现代硅单晶制备所需电子级多晶硅的纯度是（）。

A.分析纯
B.化学纯
C.99.9999999%
D.9个N

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