多项选择题

硅片制备最先进的抛光工艺是（）。

A.化学抛光
B.机械抛光
C.化学机械抛光
D.CMP

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多项选择题
现代硅单晶制备所需电子级多晶硅的纯度是（）。

A.分析纯
B.化学纯
C.99.9999999%
D.9个N
多项选择题
相对于其他半导体，硅半导体的重要性体现在（）。

A.工艺最先进
B.材料性能优良
C.工艺成本低
D.晶圆尺寸最大
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