简答题 简述离子注入机的各部分工作原理？

【参考答案】

离子注入机主要由离子源、分析磁体、加速聚焦器、扫描偏转系统、靶室及终端台和真空系统6大部分组成。
1）离子源的......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)