多项选择题

常压的硅外延方法有（）。

A.四氯化硅氢还原法
B.三氯氢硅氢还原法
C.二氯氢硅烷法
D.硅烷热分解法

<上一题 目录 下一题>
热门 试题

单项选择题
刻蚀工艺可以和以下哪个工艺结合来实现图形的转移？（）

A.氧化
B.离子注入
C.光刻
D.抛光
单项选择题
注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）

A.能量
B.温度
C.剂量
D.质量
相关试题