多项选择题
A.时序信息 B.逻辑功能信息 C.功耗信息 D.面积信息
A.Ar回蚀法 B.PSG或BPSG的热回流 C.SOG回蚀法 D.化学机械抛光
A.物理气相沉积 B.化学气相沉积 C.电化学镀 D.热氧化