多项选择题
A.标准单元只能采用单层金属连线，但该层可以是所给金属层次中的任意一层。 B.标准单元的高度和宽度都是固定的。 C.标准单元中必须包含电源线。 D.标准单元中的输入输出引脚要放在网格上，以便于自动绕线。
A.时序信息 B.逻辑功能信息 C.功耗信息 D.面积信息
A.Ar回蚀法 B.PSG或BPSG的热回流 C.SOG回蚀法 D.化学机械抛光