单项选择题

如果跨导减小，MOS晶体管的噪声电流将（）。

A.减小
B.增大
C.不变
D.不确定

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多项选择题
‏在现代Si CMOS IC金属化工艺中，Ti和TiN的作用是（）。

A.TiN是势垒层（阻挡层）
B.两个都是导电层
C.Ti是粘结层或焊接层
D.TiN防反射层
多项选择题
Poly-Si gate的刻蚀应采用什么特性和什么方法的刻蚀？（）

A.湿法刻蚀
B.干法刻蚀
C.各向同性刻蚀
D.各向异性刻蚀
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