简答题 刻蚀工艺有哪两种类型？简单描述各类刻蚀工艺。

【参考答案】

刻蚀工艺：干法刻蚀和湿法刻蚀。
干法刻蚀是把硅片表面曝露于气态中产生的等离子体，等离子体通过光刻胶中开出的窗口......

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