问答题

简答题 例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。

【参考答案】

连续喷雾显影、旋覆浸没显影。
显影温度，显影时间，显影液量，硅片洗盘，当量浓度，清洗，排风。

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