多项选择题

离子溅射泵优点是什么（）？

A.可获得超、极高真空
B.安装方向自由
C.无油环境
D.无噪音无振动

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多项选择题
对于影响成膜的异常放电发生时，关于DC 电源性能重要性内容下列正确的选项是（）。

A.抑制异常放电
B.正常放电恢复速度
C.使用寿命
D.维修速度
多项选择题
应用在真空中的各式材料包括（）。

A.靶材
B.纳米金属墨水
C.不锈钢真空室
D.玻璃观察窗
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