多项选择题

对于影响成膜的异常放电发生时，关于DC 电源性能重要性内容下列正确的选项是（）。

A.抑制异常放电
B.正常放电恢复速度
C.使用寿命
D.维修速度

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多项选择题
应用在真空中的各式材料包括（）。

A.靶材
B.纳米金属墨水
C.不锈钢真空室
D.玻璃观察窗
多项选择题
使用氦气检漏的原因是（）。

A.体积小
B.惰性气体
C.无污染
D.容易驱散
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