多项选择题

应用在真空中的各式材料包括（）。

A.靶材
B.纳米金属墨水
C.不锈钢真空室
D.玻璃观察窗

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多项选择题
使用氦气检漏的原因是（）。

A.体积小
B.惰性气体
C.无污染
D.容易驱散
多项选择题
UTM-A 系列泵，可调节转速后会有哪些好处（）？

A.可调整排气速度
B.可调节腔体真空度
C.无需流量调节阀
D.降低故障风险
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