多项选择题

UTM300B 泵的特点是什么（）？

A.按装方向自由
B.控制器和泵体集成化
C.高压缩比高背压
D.采用磁浮轴承

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多项选择题
离子溅射泵优点是什么（）？

A.可获得超、极高真空
B.安装方向自由
C.无油环境
D.无噪音无振动
多项选择题
对于影响成膜的异常放电发生时，关于DC 电源性能重要性内容下列正确的选项是（）。

A.抑制异常放电
B.正常放电恢复速度
C.使用寿命
D.维修速度
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