多项选择题
A.硅中掺有元素杂质磷（P）、砷（As） B.硅中掺有元素杂质硼B.、铝（Al） C.砷化镓掺有元素杂质硅（Si）、碲（TE） D.砷化镓中掺元素杂质锌、镉、镁
A、原子束 B、分子束 C、中子束 D、离子束
A.36伏以下 B.50伏以下 C.24伏以下