单项选择题

以下不属于电子束加热的优点的是（）。

A.蒸发温度高
B.工艺设备简单
C.热效率高
D.高纯度淀积

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单项选择题

‏以下不属于真空蒸发过程的是（）。

A.气相输运
B.薄膜淀积
C.薄膜定向
D.加热蒸发

单项选择题

以下磷（P）源属于气态源的是（）。

A.POCl₃
B.P₂O₅
C.PH₃
D.PCl₃

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