单项选择题

关于微影曝光说法错误的是()。

A.图形很小所以叫微影
B.掩模尺寸大于实际图形,曝光时要进行微缩投影
C.想得到更大的分辨率要用更短的光和孔径更大的透镜
D.曝光过程要步进重复,对硅圆片扫描