单项选择题
A.图形很小所以叫微影B.掩模尺寸大于实际图形，曝光时要进行微缩投影C.想得到更大的分辨率要用更短的光和孔径更大的透镜D.曝光过程要步进重复，对硅圆片扫描
A.涂胶机不需要抽真空B.硅圆片在涂胶机中要高速旋转，以在表面形成均匀的光刻胶薄膜C.近年采用正光刻胶的越来越多D.涂布好光刻胶的硅圆片，要在烘箱中轻微加热固化再进入曝光程序
A.正光刻胶，负光刻胶B.g线，i线C.正光刻胶，g线D.正光刻胶，i线