离子源是产生离子的装置。（）

液相外延的原理是饱和溶液随着温度的降低产生过饱和结晶。（） 点击查看答案

抛光片的电学参数包括电阻率，载流子浓度，迁移率，直径、厚度、主参考面等。（） 点击查看答案