单项选择题

热氧化法用的氧化剂除了氧气还能是什么？（）

A.氮气
B.水蒸气
C.氩气
D.氦气

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单项选择题
源栅漏极引出用钨的原因是（）。

A.钨价格低
B.钨导电率高
C.钨熔点高
D.钨不易氧化
单项选择题
LSI制作时栅极的材料是（）。

A.单晶硅
B.多晶硅
C.氧化硅
D.氮化硅
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