填空题
用作拉硅单晶原料时,P型多晶硅含硼量小于()个原子/cm
3
,P型电阻率大于()。
【参考答案】
4.5×10
12
;3000欧姆•厘米
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填空题
用作拉硅单晶原料时,N型多晶硅含磷量小于()个原子 cm3,N型电阻率大于()。
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填空题
生长直拉硅单晶用的多晶硅原料时,()作发热体生长的多晶硅处理比较复杂,首先将多晶破碎,然后用砂轮将多晶硅中的钼丝和硅钼合金打磨干净,最后经清洁处理后方能用来拉制硅单晶。
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