简答题 试给出硅片上的热氧化生长过程的示意图，并说明其中的各物理量的基本含义。

是说明什么是迪尔—格罗夫模型？试给出迪尔—格罗夫模型两种极限情况的示意图。并说明其物理意义。 点击查看答案

氧化硅的热动力学生长过程中包括哪几个主要过程？并说明每一种过程中的什么因素对氧化生长速率有影响？其中决定因素是什么？ 点击查看答案