简答题 试说明氧化生长速率的基本定义及其物理含义，并说明影响氧化生长速率的主要工艺参数，及他们对生长速率的主要影响。

【参考答案】

氧化生长速率是用于描述氧化物在硅片上生长的快慢。当氧化剂的量足够时，SiO₂生长的快慢最终由氧化剂......

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