简答题 氧化硅的热动力学生长过程中包括哪几个主要过程？并说明每一种过程中的什么因素对氧化生长速率有影响？其中决定因素是什么？

【参考答案】

热氧化过程中，氧化层的增厚包括三个过程：氧化剂从气体内部以扩散形式输运到气体—氧化层界面：氧化剂穿过滞流层到......

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