论述题

下图为硅外延生长速度对H₂中SiCL₄摩尔分量的函数曲线，试分析曲线走势，并给出其变化的原因。

【参考答案】

SiCL₄浓度较小，SiCL₄被氢还原析出硅原子的速度远小于被释放出来的硅原......

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