论述题 简述外延薄膜的生长过程，其最显著的特征是什么？

【参考答案】

生长过程：①传输：反应物从气相经边界层转移到Si表面；②吸附：反应物吸附在Si表面；③化学反应：在Si表面进行化学反应，......

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