问答题

简答题什么是两步扩散工艺，其两步扩散的目的分别是什么？

【参考答案】

实际的扩散温度一般为900-1200℃，在这个温度范围内，杂质在硅中的固溶度随温度变化不大，采用恒定表面源......

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