论述题 以P₂O₅为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。

【参考答案】

在多晶硅薄膜中进行杂质扩散的扩散方式与单晶硅中的方式是不同的，因为多晶硅中有晶粒间界存在，所以杂质原子主要沿着晶粒间界进......

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