单项选择题
A.集成度每18月翻一番B.最小特征尺寸每3年减小50%C.最小特征尺寸每3年减小70%D.集成度每三年翻一番
A.晶格损伤B.晶格缺陷C.晶胞损伤D.晶胞缺陷
A.固态源扩散B.液态源扩散C.替位式扩散D.气态源扩散