简答题 试述 “鸟嘴”效应是如何产生的？它对MOS器件有什么影响？

【参考答案】

通常，IC器件之间通过氧化去来隔离的，在局部氧化隔离工艺中，由于氧化过程中的渗透作用，造成了氧化区具有“鸟嘴形”。这种形......

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