问答题

简答题 列举两种集成电路制造中的器件隔离结构,并比较其优缺点。

【参考答案】

两种最常用的隔离结构:局部氧化隔离法隔离(LOCOS)和浅沟槽隔离(STI)。
局部氧化隔离法会产生&ldqu......

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