问答题

简答题 简述光刻工艺的8个基本步骤。

【参考答案】

①气相成底膜；
②旋转涂胶；
③软烘；
④对准和曝光；
⑤曝光后烘培（PEB）；
⑥显影；
⑦坚膜烘培；
⑧显影检查。

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