简答题 简述部分离子注入工艺的作用。

【参考答案】

①深埋层注入：高能（大于200KEV）离子注入，深埋层的作用：减小衬底横向寄生电阻，控制CMOS的闩锁效应。
......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)