集成电路制造工艺的车间需要定期进行除尘清扫，其可以有效减少生产环境变化对产品质量的影响。

风淋时到达设定时间后风淋结束，风淋室自动解锁，此时可打开风淋室内门，进入车间。 点击查看答案

粘尘垫的作用是粘除进入车间人员鞋底的灰尘，防止将灰尘带入车间。风淋室的出口和入口都需要布置粘尘垫。 点击查看答案