单项选择题

蒸发台真空度的要求一般（）。

A.≤9E-7torr
B.≥9E-7torr
C.≤9E-5torr
D.≥9E-5torr

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单项选择题
溅射中用于轰击靶材的气体是（）。

A.Ar
B.He
C.N2
D.O2
单项选择题
PVD的定义为（）。

A.物理气相沉积
B.化学气相沉积
C.等离子气相沉积
D.平面真空镀膜
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