单项选择题

溅射中用于轰击靶材的气体是（）。

A.Ar
B.He
C.N2
D.O2

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单项选择题
PVD的定义为（）。

A.物理气相沉积
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问答题
简述薄膜应力对X射线衍射峰的影响规律及利用X射线衍射技术测童薄膜应力的两种方法。
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